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半导体工厂自动化解决方案


RMS配置管理:
尽量减少由于不正确的配方产生的产量损失
通过集中管理,提高生产控制
提高运营效率和工厂优化
进行工程分析
改进生产过程中的监测/控制
RH-EPTS 性能跟踪系统
是一个综合的工程解决方案,提供全厂的现场设备性能跟踪(EPT)和OEE监测。设有插头和基站控制器CellMap©©RecipePlant的如播放界面能力,实时信号设备准确地捕获,处理和显示。强大的基于Web的图形分析工具,使统计和帕累托的结果来看待,随时随地在网络/互联网为便于故障排除和报告。

自动化解决方案和准确EPT报告  EPTrack将自动提取的大部分信息直接从设备无需用户干预(除了OEE数据,这需要一些手动进给的),增加结果的准确性。
实时分析   这些信息将被融入到中央存储时间,这样用户会有最新的设备性能分析结果。将因此促进用户做出及时的决策,增加反应时间发现的原因。
在线报告   提供各种统计数据和图表,OEE报告,RAM报告、报警报告等等。此外,该系统允许您操作数据使用提供多种选择的选项,i.e、更改图表类型、数据获取等。
位置透明性   可以从任何地方访问EPT使用标准的web浏览器,比如微软Internet Explorer
可扩展性  可扩展包括工程数据收集/过滤、程控、APC、电子邮件/短信触发



RMS配置管理系统

RH-EPTS 性能跟踪系统

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